Lineare und rotative Standard Messsysteme

Modellreihe	Messlänge	Genauigkeit	Signalform	Messschritte Auflösung bis zu	Modellreihe
Modellreihe F	440 mm - 30 m	± 5 µm	TTL	5 µm	FT / FOT
			TTL differential	1 µm	FX / FOX
			1 Vpp	Bis zu 0,1 μm	FP / FOP
Modellreihe C/C2	220 mm - 3 040 mm	± 10 µm	TTL	5 µm	CT / COT
		± 5 µm	TTL differential	1 µm	CX / COX
		± 5 µm	1 Vpp	Up 0,1 µm	CP / COP
Modellreihe M/M2	40 mm - 1 540 mm	± 10 µm	TTL	5 µm	MT / MOT
	70 mm - 1 540 mm		TTL differential		M2TD
			TTL		MKT
		± 5 µm	TTL differential	1 µm	M2X / M2OX
		± 10 µm	TTL differential	1 µm	MKX
		± 5 µm	1 Vpp	Bis zu 0,1 μm	M2P / M2OP
Modellreihe MM/MM2	40 mm - 520 mm	± 10 µm	TTL	5 µm	MMT
	120 mm - 520 mm	± 10 µm	TTL	5 µm	MMKT
		± 5 µm	TTL differential	1 µm	MM2X/MM2OX
		± 10 µm	TTL differential	1 µm	MMKX
		± 5 µm	1 Vpp	0,1 µm	MM2P/MM2OP