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Série | Seção | Percursos de medição | Precisão | Sinais | Passos de medida Resolução até | Modelos |
---|---|---|---|---|---|---|
Série F |
440 mm – 30 m | ± 5 µm | TTL | 5 µm | FT / FOT | |
TTL diferenciais | 1 µm | FX / FOX | ||||
1 Vpp |
Hasta 0,1 μm
|
FP / FOP | ||||
Série C/C2 |
220 mm – 3 040 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | CT / COT | |
± 5 µm | TTL diferenciais | 1 µm | CX / COX | |||
1 Vpp | Hasta 0,1 µm | CP / COP | ||||
Série M/M2 |
40 mm – 1 540 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | MT / MOT | |
70 mm – 1 540 mm | TTL diferenciais | M2TD | ||||
TTL | MKT | |||||
± 5 µm | TTL diferenciais | 1 µm | M2X / M2OX | |||
± 10 µm | MKX | |||||
± 5 µm | 1 Vpp | Hasta 0,1 µm | M2P / M2OP | |||
Série MM/MM2 |
40 mm – 520 mm | ± 10 µm | TTL | 5 µm | MMT | |
120 mm – 520 mm | MMKT | |||||
± 5 µm | TTL diferenciais | 1 µm | MM2X/MM2OX | |||
± 10 µm | MMKX | |||||
± 5 µm | 1 Vpp | 0,1 µm | MM2P/MM2OP |